|
|
|
Образование:
Окончил радиотехнический факультет МПИ им. А.М. Горького по специальности Конструирование и производство радиоаппаратуры в 1990 году. Защитил кандидатскую диссертацию в 2009 году по теме: «Технология изготовления криоэлектронных информационно-измерительных приборов на основе слоистых структур высокотемпературных сверхпроводников» по специальности 05.11.14 – Технология приборостроения в КГТУ им. А.Н. Туполева (г. Казань).
Основные направления научной деятельности:
Высокие технологии в промышленности России: нанотехнологии и наноматериалы, разработка вакуумного оборудования, исследования в области вакуумных методов получения тонких пленок различных материалов и слоистых структур, проведение исследований в сфере микро- и нанотехнологии, исследования в области технологии получения слоистых структур высокотемпературных сверхпроводников, исследования в областях сканирующей зондовой микроскопии и спектроскопии. Разработанное оборудование внедрено на ведущих предприятиях, производящих тонкопленочные структуры вакуумными методами, а также в учебный процесс ПГТУ. Научно-исследовательская работа по грантам РФ в сфере высоких технологий.
Публикации:Автор более 50 работ, в том числе 4 учебных пособий, из которых 2 пособия с грифом УМО РФ и 12 патентов.
Основные труды:
- Филимонов, В.Е. Методика формирования многокомпонентных стехиометричных тонких пленок для электронного производства / В.Е. Филимонов, В.Н. Игумнов // Всероссийский научно-технический журнал Проектирование и технология электронных средств. – 2005. – №2. – С.25-29.
- Филимонов, В.Е. Принцип изготовления мозаичных мишеней для ионно-плазменного нанесения многокомпонентных тонких пленок в электронном производстве / В.Е. Филимонов, В.Н. Игумнов // Всероссийский научно-технический журнал Проектирование и технология электронных средств. – 2005. – №3. – С.16-21.
- Филимонов, В.Е. Принцип изготовления составных мишеней для ионно-плазменного нанесения пленочных покрытий сложного состава в электронном производстве / В.Е. Филимонов // Всероссийский научно-технический журнал Проектирование и технология электронных средств. 2008. – №3. – С.62-66.
- Филимонов, В.Е. Сверхпроводниковый измерительный преобразователь температуры и особенности технологии его изготовления / В.Е. Филимонов, В.Н. Игумнов, А.В. Мороз // Вестник Казанского государственного технического университета им. А.Н. Туполева. – 2009. – №1. – С.36-39.
- Патент РФ №2290453. МПК7 С 23 С 14/35. Способ формирования многокомпонентного стехиометричного пленочного покрытия / В.Н. Игумнов, В.Е. Филимонов. – №2004133018/02; Заявлено 12.11.2004; Опубл. 27.12.2006, Бюл. № 36.
- Патент РФ №2262151. МПК7 H 01 J 23/00, C 23 C 14/06, 14/34. Мишень для ионно-плазменного нанесения пленочных покрытий сложного состава и способ ее изготовления / В.Н. Игумнов, А.Р. Буев, В.Е. Филимонов. – №2003138023/02; Заявлено 29.12.2003; Опубл. 10.10.2005, Бюл. № 28.
- Патент РФ №2261496. МПК7 H 01 J 23/00, C 23 C 14/06, 14/34. Мозаичная мишень для ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ ее изготовления / В.Е. Филимонов, В.Н. Игумнов. – №2004101974/02; Заявлено 22.01.2004; Опубл. 27.09.2005, Бюл. № 27.
- Патент РФ №2253169. МПК7 H 01 L 39/08. Составной магнитный ВТСП экран / В.Н. Игумнов, А.Р. Буев, В.В. Иванов, В.Е. Филимонов. – №2003134210/28; Заявлено 25.11.2003; Опубл. 27.05.2005, Бюл. № 15.
- Патент РФ №2271582. МПК7 G 12 B 17/02, H 01 L 39/00. Магнитный сверхпроводниковый экран и способ его охлаждения / В.Н. Игумнов, А.Р. Буев, В.В. Иванов, В.Е. Филимонов. – №2004119112/28; Заявлено 23.06.2004; Опубл. 10.03.2006, Бюл. № 7.
- Патент РФ №2282281. МПК7 H 01 L 39/18. Криоэлектронный преобразователь импульсов / В.Н. Игумнов, В.Е. Филимонов, А.Ю. Ахметханов. – №2005101439/09; Заявлено 21.01.2005; Опубл. 20.08.2006, Бюл. № 23.
- Патент РФ №2234167. МКИ 7 H 01 L 39/24. Способ изготовления подложки для ВТСП покрытий на основе MgO-керамики и серебра/ В.Н. Игумнов, А.Р. Буев, Н.М. Скулкин, В.В. Иванов, В.Е. Филимонов. – №2003110635/28; Заявлено 14.04.2003; Опубл. 10.08.2004, Бюл. № 22.
- Патент РФ №2306635. МПК7 H 01 L 39/12. Составной комбинированный магнитный экран / В.Н. Игумнов, В.Е. Филимонов, А.П. Большаков. – №2006104083/28; Заявлено 10.02.2006; Опубл. 20.09.2007, Бюл. № 26.
- Патент РФ №2304827. МПК7 H 01 L 39/24. Способ формирования высокотемпературного сверхпроводникового покрытия / В.Н. Игумнов, В.Е. Филимонов, А.П. Большаков, Н.М. Скулкин. – №2006110706/28; Заявлено 03.04.2006; Опубл. 20.08.2007, Бюл. № 23.
- Патент РФ №2373600. МПК7 H 01 H 81/02. Двухступенчатый сверхпроводниковый токоограничитель-выключатель и способ его изготовления / В.Н. Игумнов, Н.М. Скулкин, А.П. Большаков, В.Е. Филимонов. – №2008137705/09; Заявлено 19.09.2008; Опубл. 20.11.2009, Бюл. № 32.
- Патент РФ №2376686. МПК7 H 01 L 39/24. Способ изготовления перехода Джозефсона / В.Н. Игумнов, А.П. Большаков, В.Е. Филимонов. – №2008121095/28; Заявлено 26.05.2008; Опубл. 20.12.2009, Бюл. № 35.
- Патент РФ №2377701. МПК7 H 01 L 39/02. Управляемый сверхпроводниковый резистор / В.Н. Игумнов, А.П. Большаков, В.Е. Филимонов. – №2008137678/28; Заявлено 19.09.2008; Опубл. 27.12.2009, Бюл. № 36.
- Филимонов, В.Е. Методики формирования многокомпонентных стехиометричных тонких пленок для электронного производства / В.Е. Филимонов.; Марийский государственный технический университет. – Йошкар-Ола, 2007. – 50с.: ил.-16. – Библиогр.: 61 назв. – Рус. – Деп. в ВИНИТИ 12.07.07, №719-В2007.
- Сушенцов, Н.И. Основы технологии микроэлектроники: Лабораторный практикум / Н.И. Сушенцов, В.Е. Филимонов. – 3-е изд., перераб. и доп. – Йошкар-Ола: МарГТУ, 2005. – 184с.
- Филимонов В.Е. Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники: учебное пособие / В. Е. Филимонов, Н. И. Сушенцов. – Йошкар-Ола: Марийский государственный технический университет, 2011. – 160 с.
|
|
|